經(jīng)緯儀：測(cè)量水平角和豎直角的儀器。由望遠(yuǎn)鏡、水平度盤(pán)與垂直度盤(pán)和基座等部件組成。按讀數(shù)設(shè)備分為游標(biāo)經(jīng)緯儀、光學(xué)經(jīng)緯儀和電子（自動(dòng)顯示）經(jīng)緯儀。經(jīng)緯儀廣泛用于控制、地形和施工放樣等測(cè)量。中國(guó)經(jīng)緯儀系列有:DJ07、DJ1、DJ2、DJ6、DJ15、DJ60六個(gè)型號(hào)（“DJ”表示“大地測(cè)量經(jīng)緯儀”,“07、1、2、……”分別為該類(lèi)儀器以秒為單位表示的一測(cè)回水平方向的中誤差）。在經(jīng)緯儀上附有配件時(shí),可組成：激光經(jīng)緯儀、坡面經(jīng)緯儀等。此外，還有的陀螺經(jīng)緯儀、礦山經(jīng)緯儀、攝影經(jīng)緯儀等。

水準(zhǔn)儀：測(cè)量?jī)牲c(diǎn)間高差的儀器。由望遠(yuǎn)鏡、水準(zhǔn)器（或補(bǔ)償器）和基座等部件組成。按構(gòu)造分：定鏡水準(zhǔn)儀、轉(zhuǎn)鏡水準(zhǔn)儀、微傾水準(zhǔn)儀、自動(dòng)安平水準(zhǔn)儀。水準(zhǔn)儀廣泛用于控制、地形和施工放樣等測(cè)量工作。中國(guó)水準(zhǔn)儀的系列標(biāo)準(zhǔn)有：DS05、DS1、DS3、DS10、DS20等型號(hào)（“DS”表示“大地測(cè)量水準(zhǔn)儀”,“05、1、3、……”分別為該類(lèi)儀器以毫米為單位表示的每公里水準(zhǔn)測(cè)量高差中數(shù)的偶然中誤差）。在水準(zhǔn)儀上附有配件時(shí),可組成激光水準(zhǔn)儀。

平板儀：地面人工測(cè)繪大比例尺地形圖的主要儀器。由照準(zhǔn)儀、平板和支架等部件組成。在照準(zhǔn)儀上附加電磁波測(cè)距裝置，可使作業(yè)更為方便迅速。

電磁波測(cè)距儀：應(yīng)用電磁波運(yùn)載測(cè)距信號(hào)測(cè)量?jī)牲c(diǎn)間距離的儀器。測(cè)程在5～20公里的稱(chēng)為中程測(cè)距儀,測(cè)程在5公里之內(nèi)的為短程測(cè)距儀。精度一般為 5mm+5ppm，具有小型、輕便、精度高等特點(diǎn)。60年代以來(lái)，測(cè)距儀發(fā)展迅速。近年來(lái)，生產(chǎn)的雙色精密光電測(cè)距儀精度已達(dá)0.1mm+0.1ppm。電磁波測(cè)距儀已廣泛用于控制、地形和施工放樣等測(cè)量中，成倍的提高了外業(yè)工作效率和量距精度。

電子速測(cè)儀：由電子經(jīng)緯儀、電磁波測(cè)距儀、微型計(jì)算機(jī)、程序模塊、存儲(chǔ)器和自動(dòng)記錄裝置組成，快速進(jìn)行測(cè)距、測(cè)角、計(jì)算、記錄等多功能的電子測(cè)量?jī)x器。有整體式和組合式兩類(lèi)。整體式電子速測(cè)儀為各功能部件整體組合，可自動(dòng)顯示斜距、角度，自動(dòng)歸算并顯示平距、高差及坐標(biāo)增量，具有較高的自動(dòng)化程度。組合式電子速測(cè)儀，即電子經(jīng)緯儀，電磁波測(cè)距儀，計(jì)算機(jī)及繪圖設(shè)備等分離元件，按需要組合，既有較高的自動(dòng)化特性，又有較大的靈活性。電子速測(cè)儀適用于工程測(cè)量和大比例尺地形測(cè)量。并能為建立數(shù)字地面模型提供解析數(shù)據(jù)，使地面測(cè)量趨于自動(dòng)化，還可對(duì)活動(dòng)目標(biāo)做跟蹤測(cè)量，例如對(duì)于港口工程中的船舶進(jìn)出港口的航跡觀測(cè)。

陀螺經(jīng)緯儀：將陀螺儀和經(jīng)緯儀組合在一起，用以測(cè)定真方位角的儀器。在地球上南北緯度75°范圍內(nèi)均可使用。陀螺高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于受地球自轉(zhuǎn)影響，其軸向子午面兩側(cè)往復(fù)擺動(dòng)。通過(guò)觀測(cè)，可定出真北方向。陀螺經(jīng)緯儀主要用于礦山和隧道地下導(dǎo)線測(cè)量的定向工作。有的陀螺經(jīng)緯儀用微處理機(jī)進(jìn)行控制，自動(dòng)顯示測(cè)量成果，具有較高的測(cè)量精度。激光陀螺經(jīng)緯儀則具有精度較高、穩(wěn)定和成本低的特點(diǎn)。

激光測(cè)量?jī)x器：裝有激光發(fā)射器的各種測(cè)量?jī)x器。這類(lèi)儀器較多，其共同點(diǎn)是將一個(gè)氦氖激光器與望遠(yuǎn)鏡連接,把激光束導(dǎo)入望遠(yuǎn)鏡筒,并使其與視準(zhǔn)軸重合。利用激光束方向性好、發(fā)射角小、亮度高、紅色可見(jiàn)等優(yōu)點(diǎn)，形成一條鮮明的準(zhǔn)直線，做為定向定位的依據(jù)。在大型建筑施工，溝渠、隧道開(kāi)挖，大型機(jī)器安裝，以及變形觀測(cè)等工程測(cè)量中應(yīng)用甚廣。常見(jiàn)的激光測(cè)量?jī)x器有：①激光準(zhǔn)直儀和激光指向儀。兩者構(gòu)造相近，用于溝渠、隧道或管道施工、大型機(jī)械安裝、建筑物變形觀測(cè)。目前激光準(zhǔn)直精度已達(dá)10-5～10-6。②激光垂線儀。將激光束置于鉛直方向以進(jìn)行豎向準(zhǔn)直的儀器。用于高層建筑、煙囪、電梯等施工過(guò)程中的垂直定位及以后的傾斜觀測(cè),精度可達(dá)0.5×10-4 。③激光經(jīng)緯儀。用于施工及設(shè)備安裝中的定線、定位和測(cè)設(shè)已知角度。通常在200米內(nèi)的偏差小于1厘米。④激光水準(zhǔn)儀。除具有普通水準(zhǔn)儀的功能外，尚可做準(zhǔn)直導(dǎo)向之用。如在水準(zhǔn)尺上裝自動(dòng)跟蹤光電接收靶，即可進(jìn)行激光水準(zhǔn)測(cè)量。⑤激光平面儀。一種建筑施工用的多功能激光測(cè)量?jī)x器，其鉛直光束通過(guò)五棱鏡轉(zhuǎn)為水平光束；微電機(jī)帶動(dòng)五棱鏡旋轉(zhuǎn)，水平光束掃描，給出激光水平面,可達(dá)20"的精度。適用于提升施工的滑模平臺(tái)、網(wǎng)形屋架的水平控制和大面積混凝土樓板支模、灌筑及抄平工作，方便、省力省工。

液體靜力水準(zhǔn)儀：利用連通管測(cè)定兩點(diǎn)間微小高差的儀器。主要是由測(cè)深儀和控制器組成的觀測(cè)系統(tǒng)。前者用微型電機(jī)作為動(dòng)力，以測(cè)針自動(dòng)跟蹤水位進(jìn)行觀測(cè)，后者由電子設(shè)備部件經(jīng)過(guò)測(cè)深儀與沉降點(diǎn)有線連接后，指揮任一沉降點(diǎn)進(jìn)行工作，并由數(shù)碼管顯示逐點(diǎn)的觀測(cè)值。在良好條件下，觀測(cè)精度可達(dá)0.05mm左右。儀器主要用于精密測(cè)定建筑物沉降，建筑物安裝及地震預(yù)報(bào)中的傾斜觀測(cè)。

攝影經(jīng)緯儀：由攝影機(jī)和經(jīng)緯儀組裝而成的供地面攝影測(cè)量野外作業(yè)用的主要儀器。攝影機(jī)上有物鏡、暗箱、承片框、檢影器。在承片框上裝有精密的框標(biāo)。經(jīng)緯儀用來(lái)測(cè)定攝影站點(diǎn)和檢查點(diǎn)的坐標(biāo)，并確定主光軸方向。主要用于地形和非地形攝影測(cè)量。

立體坐標(biāo)量測(cè)儀：攝影測(cè)量中用于測(cè)定立體像對(duì)上同名點(diǎn)的像片平面直角坐標(biāo)和坐標(biāo)差（視差）的儀器。由觀測(cè)系統(tǒng)，導(dǎo)軌系統(tǒng)，像片盤(pán)，量測(cè)系統(tǒng)和照明設(shè)備等部分組成。有的儀器有自動(dòng)坐標(biāo)記錄裝置，還可直接獲得計(jì)算機(jī)使用的穿孔紙帶，或配有自動(dòng)拍攝所量測(cè)像點(diǎn)影像的裝置。主要用于解析空中三角測(cè)量和地面立體攝影測(cè)量加密像控點(diǎn)。

立體測(cè)圖儀：航空攝影測(cè)量法測(cè)圖儀器的統(tǒng)稱(chēng)。是攝影測(cè)量?jī)?nèi)業(yè)成圖的主要儀器。其結(jié)構(gòu)原理是以攝影過(guò)程的幾何反轉(zhuǎn)為基礎(chǔ)。由投影系統(tǒng)、量測(cè)系統(tǒng)、觀察系統(tǒng)和繪圖系統(tǒng)組成。儀器按投影方式分為光學(xué)投影、機(jī)械投影和光學(xué)機(jī)械投影三種，按使用范圍分，有專(zhuān)為地面立體攝影經(jīng)緯儀配套的儀器，也有既可供航測(cè)成圖又可供地面攝影成圖的儀器；有的限于測(cè)圖，有的還能用于空中三角測(cè)量。目前，發(fā)展的趨勢(shì)是主機(jī)結(jié)構(gòu)趨于簡(jiǎn)單，但增加各種外圍設(shè)備，如自動(dòng)坐標(biāo)記錄裝置，正射投影裝置、數(shù)控繪圖桌等,以擴(kuò)大使用范圍,提高工作效率。另外,解析測(cè)圖儀也可歸于法測(cè)圖儀器,它由帶有反饋系統(tǒng)的高精度立體坐標(biāo)量測(cè)儀、電子計(jì)算機(jī)、數(shù)控繪圖桌、控制臺(tái)及相應(yīng)的軟件組成。新型解析測(cè)圖儀可以聯(lián)機(jī)或脫機(jī)測(cè)圖，其人機(jī)對(duì)話的數(shù)字?jǐn)z影測(cè)量、信息庫(kù)、圖解系統(tǒng)用于地籍測(cè)量和空中三角測(cè)量，可獲取數(shù)字地面模型、斷面圖、進(jìn)行地面攝影測(cè)量以及修測(cè)更新地圖等。

正射投影儀：將具有傾斜和地面起伏的中心投影像片變換成正射影像圖的攝影測(cè)量?jī)x器。正射影像圖具有成圖快速、信息豐富、直觀易識(shí)等特點(diǎn)，正射投影儀一般分光學(xué)投影和電子投影兩類(lèi)，可以聯(lián)機(jī)或脫機(jī)作業(yè),制作正射影像圖。